干式真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。
靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。
爪式真空泵由多級轉子構成，其中每級都有2個轉子構成，兩個轉子反方向旋轉，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當轉子關閉吸氣口時吸氣結束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關閉時則排氣完畢，如此循環工作。
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了渦旋無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向對應的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環。
真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
